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簡要描述:JSM-7900F臺式掃描電鏡是JEOL推出的新一代FE-SEM旗艦機(jī)型。 它繼承了上一代廣獲好評的*空間分辨率、高穩(wěn)定性、多種功能等性能的同時(shí),操作性能簡單化。 該設(shè)備不依賴操作者的技能,始終能夠發(fā)揮其極jia的性能。
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詳細(xì)介紹
JSM-7900F 超高分辨熱場發(fā)射掃描電鏡是JEOL推出的新一代FE-SEM旗艦機(jī)型。 它繼承了上一代廣獲好評的*空間分辨率、高穩(wěn)定性、多種功能等性能的同時(shí),操作性能簡單化。 該設(shè)備不依賴操作者的技能,始終能夠發(fā)揮其極jia的性能。
JSM-7900F臺式掃描電鏡主要特點(diǎn):
◇ Neo Engine(New Electron Optical Engine)
新一代電子光學(xué)控制系統(tǒng)Neo Engine(New Electron Optical Engine),是JEOL電子光學(xué)技術(shù)薈萃的結(jié)晶。 它綜合了透鏡控制系統(tǒng)和自動化技術(shù),即使改變電子光學(xué)條件,光軸的偏離也極小,大大提高了可操作性及觀察精度。 無論是誰都可以很簡便地發(fā)揮出儀器原本的功能。
① 提高了自動功能
樣品 : 用CP 制備的礦物截面(樹脂包埋) 入射電壓 : 5 kV,檢測器 : RBED,觀察倍率 : ×100,000
不僅提高了自動功能的精度,而且只需要幾秒鐘就可以聚焦。
② 提高了倍率的精度
樣品 : 測長用的樣品(MRS5) 入射電壓 : 10 kV, 觀察倍率: ×50,000
大幅度地提高了倍率的精度,而且實(shí)現(xiàn)了高精度測長。
③ 能量過濾器更加易用
樣品 : 名片 入射電壓 : 1.5 kV, 檢測器 : UED, 觀察倍率 : ×3,500
即使大幅度改變能量過濾器的設(shè)定值,視野或聚焦位置基本不會偏離。
◇ GBSH-S (GENTLEBEAM™ Super High resolution Stage bias mode)
GBSH 是在低加速電壓下提高分辨率的一種方法。 新開發(fā)的GBSH-S可以給樣品臺施加高達(dá)5 kV的偏壓。 因此,使用GBSH模式不需要使用的樣品桿就可以無縫過渡到其他模式。
※GENTLEBEAM™ 通過給樣品施加偏壓,起到了對入射電子減速,對出射電子加速的作用。
◇ 新型背散射電子檢測器 ※ 選配件
采用新開發(fā)的超高靈敏度的背散射電子檢測器,可以在清晰的襯度下進(jìn)行觀察。 靈敏度比以往的產(chǎn)品提高了很多,特別是在低加速電壓下能得到高襯度的成分像。
舊機(jī)型 新機(jī)型
樣品 : Cu的截面 入射電壓 : 3 kV 觀察倍率 : ×10,000 WD: 4.5 mm
◇ 新型外觀設(shè)計(jì)
外觀設(shè)計(jì)緊湊,大大節(jié)省了安裝空間,可以支持多種安裝環(huán)境。
◇ 新的樣品交換方式
采用新設(shè)計(jì)的樣品交換系統(tǒng)(load lock),操作簡單了,不僅減少誤操作還提高了通量和耐用性。
◇ SMILENAVI
SMILENAVI 是為初學(xué)者在短時(shí)間內(nèi)學(xué)會基礎(chǔ)操作而開發(fā)的操作導(dǎo)航系統(tǒng)。 操作人員按照流程,只要點(diǎn)擊圖標(biāo),SEM操作畫面就會聯(lián)動,依照提示引導(dǎo)即可操作。
① 強(qiáng)調(diào)操作按鈕
只要將鼠標(biāo)光標(biāo)挪到SMILENAVI的指南鍵上,SEM的GUI上的相應(yīng)鍵會出現(xiàn)方框。
在SMILENAVI指南里點(diǎn)擊按鍵后,SEM的GUI會變成灰色來強(qiáng)調(diào)相應(yīng)鍵。
② 顯示照片
在SMILENAVI的指南里點(diǎn)擊按鍵后,會顯示該按鍵位置的照片。
③ 顯示操作順序的視頻
SMILENAVI的指南里有介紹操作順序的視頻。
◇ 浸沒式肖特基 Plus 電子槍
浸沒式肖特基Plus FEG 通過與電子槍和低像差聚光鏡的組合,性能進(jìn)一步得到改善,達(dá)到了更高的亮度。 能有效地收集從電子槍發(fā)射出的電子,即使在低加速電壓下,也能獲得數(shù)pA ~數(shù)10 nA 的探針電流,不用交換物鏡光闌也能進(jìn)行高分辨觀察和快速元素面分布及EBSD 分析。
◇ ACL(光闌角控制鏡)
ACL(光闌角控制鏡)位于物鏡的上方,自動優(yōu)化整個(gè)電流范圍內(nèi)的物鏡光闌角。 因此,即使改變探針電流量,也能調(diào)整入射電子的擴(kuò)散,始終可以獲取小的電子束斑。不管是高分辨觀察還是X 射線分析,對探針電流的大幅度變化都能輕松對應(yīng)。
◇ 超級混合式物鏡 / SHL
JSM-7900F 標(biāo)配了JEOL 開發(fā)的電磁場疊加物鏡 —“超級混合式物鏡(SHL)”,對任何樣品包括磁性和絕緣材料都能進(jìn)行超高空間分辨率觀察和分析。
◇ 檢測器系統(tǒng)
能夠同步采集多達(dá)4 種檢測器的信號。
標(biāo)配低位檢測器(LED)和高位檢測器(UED)。 此外,還可以安裝選配件:可插拔式背散射電子檢測器(RBED)和高位二次電子檢測器(USD)。
◇ 高空間分辨率觀察
利用GBSH,即使在極低的加速電壓下也能進(jìn)行高分辨率觀察。
GBSH下,高空間分辨率觀察應(yīng)用
● 氧化物納米材料
● 金屬納米顆粒
◇ 低真空功能 ※選配件
利用低真空功能,即使是絕緣材料也不需要對樣品噴涂導(dǎo)電層,并且能很容易地進(jìn)行觀察及測試。JSM-7900F 在低真空下也擁有*的空間分辨率。
高倍率下的觀察應(yīng)用
● 玻璃
EDS分析應(yīng)用
● 食品
利用低真空功能,能容易地抑制絕緣材料產(chǎn)生的充放電效應(yīng)
JSM-7900F臺式掃描電鏡技術(shù)參數(shù):
分辨率
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1.0 nm (0.5 kV)
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倍率
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×10 ~ ×1,000,000
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加速電壓
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0.01 ~ 30 kV
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探針電流
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數(shù) pA ~ 500 nA
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檢測器(標(biāo)配)
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高位檢測器(UED)、低位檢測器(LED)
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電子槍
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浸沒式肖特基Plus場發(fā)射電子槍
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光闌角控制鏡
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內(nèi)置
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物鏡
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超級混合式物鏡/SHL
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自動功能
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自動聚焦、自動消像散、自動調(diào)節(jié)亮度、自動調(diào)節(jié)襯度
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大景深模式(LDF)
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內(nèi)置
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樣品臺
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全對中測角樣品臺
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樣品移動
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X:70mm Y:50mm Z:2 ~ 41mm 傾斜軸:-5 ~ 70° 旋轉(zhuǎn):360°
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馬達(dá)驅(qū)動
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5軸馬達(dá)驅(qū)動
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樣品交換室
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大直徑: 100mm 大高度: 40mm
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抽真空
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