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臺式掃描電鏡

簡要描述:JSM-7900F臺式掃描電鏡是JEOL推出的新一代FE-SEM旗艦機(jī)型。 它繼承了上一代廣獲好評的*空間分辨率、高穩(wěn)定性、多種功能等性能的同時(shí),操作性能簡單化。 該設(shè)備不依賴操作者的技能,始終能夠發(fā)揮其極jia的性能。

  • 產(chǎn)品型號:JSM-7900F
  • 廠商性質(zhì):代理商
  • 更新時(shí)間:2024-09-23
  • 訪  問  量:5460

詳細(xì)介紹

JSM-7900F 超高分辨熱場發(fā)射掃描電鏡是JEOL推出的新一代FE-SEM旗艦機(jī)型。 它繼承了上一代廣獲好評的*空間分辨率、高穩(wěn)定性、多種功能等性能的同時(shí),操作性能簡單化。 該設(shè)備不依賴操作者的技能,始終能夠發(fā)揮其極jia的性能。

 

JSM-7900F臺式掃描電鏡主要特點(diǎn):

 

◇  Neo Engine(New Electron Optical Engine)

 

新一代電子光學(xué)控制系統(tǒng)Neo Engine(New Electron Optical Engine),是JEOL電子光學(xué)技術(shù)薈萃的結(jié)晶。 它綜合了透鏡控制系統(tǒng)和自動化技術(shù),即使改變電子光學(xué)條件,光軸的偏離也極小,大大提高了可操作性及觀察精度。 無論是誰都可以很簡便地發(fā)揮出儀器原本的功能。

 

①  提高了自動功能

 

礦物截面-1.jpg

 

 

       樣品 : 用CP 制備的礦物截面(樹脂包埋)                 入射電壓 : 5 kV,檢測器 : RBED,觀察倍率 : ×100,000

 

 

      不僅提高了自動功能的精度,而且只需要幾秒鐘就可以聚焦。

 

 

 

 

②   提高了倍率的精度

 

測長用的樣品-1-1.jpg測長用的樣品-2-1.jpg

 

 

  樣品 : 測長用的樣品(MRS5)     入射電壓 : 10 kV, 觀察倍率: ×50,000
 

 

 

      大幅度地提高了倍率的精度,而且實(shí)現(xiàn)了高精度測長。

 

 

 

③ 能量過濾器更加易用   名片-1.jpg

 

     樣品 : 名片        入射電壓 : 1.5 kV, 檢測器 : UED, 觀察倍率 : ×3,500

 

 

 

 

     即使大幅度改變能量過濾器的設(shè)定值,視野或聚焦位置基本不會偏離。

 

 

 

 

◇ GBSH-S (GENTLEBEAM™  Super High resolution Stage bias mode)

 

GBSH 是在低加速電壓下提高分辨率的一種方法。 新開發(fā)的GBSH-S可以給樣品臺施加高達(dá)5 kV的偏壓。 因此,使用GBSH模式不需要使用的樣品桿就可以無縫過渡到其他模式。

 

※GENTLEBEAM™ 通過給樣品施加偏壓,起到了對入射電子減速,對出射電子加速的作用。

 

 

◇ 新型背散射電子檢測器 ※ 選配件

 

采用新開發(fā)的超高靈敏度的背散射電子檢測器,可以在清晰的襯度下進(jìn)行觀察。 靈敏度比以往的產(chǎn)品提高了很多,特別是在低加速電壓下能得到高襯度的成分像。

 

                                舊機(jī)型                                                                   新機(jī)型

 

銅的截面-1.jpg

 

   樣品 : Cu的截面             入射電壓 : 3 kV     觀察倍率 : ×10,000  WD: 4.5 mm

 

 

◇ 新型外觀設(shè)計(jì)

 

     外觀設(shè)計(jì)緊湊,大大節(jié)省了安裝空間,可以支持多種安裝環(huán)境。

 

 

◇ 新的樣品交換方式

 

     采用新設(shè)計(jì)的樣品交換系統(tǒng)(load lock),操作簡單了,不僅減少誤操作還提高了通量和耐用性。

 

 

◇ SMILENAVI

 

SMILENAVI 是為初學(xué)者在短時(shí)間內(nèi)學(xué)會基礎(chǔ)操作而開發(fā)的操作導(dǎo)航系統(tǒng)。 操作人員按照流程,只要點(diǎn)擊圖標(biāo),SEM操作畫面就會聯(lián)動,依照提示引導(dǎo)即可操作。

 

①  強(qiáng)調(diào)操作按鈕

 

只要將鼠標(biāo)光標(biāo)挪到SMILENAVI的指南鍵上,SEM的GUI上的相應(yīng)鍵會出現(xiàn)方框。

 

    smilenavi-1-1.jpg          smilenavi-2.jpg

 

在SMILENAVI指南里點(diǎn)擊按鍵后,SEM的GUI會變成灰色來強(qiáng)調(diào)相應(yīng)鍵。

smilenavi-3.jpg

 

②  顯示照片

 

在SMILENAVI的指南里點(diǎn)擊按鍵后,會顯示該按鍵位置的照片。

 

smilenavi-4.jpg

 

 

 

 

 

③  顯示操作順序的視頻

 

       SMILENAVI的指南里有介紹操作順序的視頻。

 

 

 

 

smilenavi-5.jpg

 

 

 

◇ 浸沒式肖特基 Plus 電子槍

 

浸沒式肖特基Plus FEG 通過與電子槍和低像差聚光鏡的組合,性能進(jìn)一步得到改善,達(dá)到了更高的亮度。 能有效地收集從電子槍發(fā)射出的電子,即使在低加速電壓下,也能獲得數(shù)pA ~數(shù)10 nA 的探針電流,不用交換物鏡光闌也能進(jìn)行高分辨觀察和快速元素面分布及EBSD 分析。

 

FEG-1.jpg

 

 

 

 

 

◇ ACL(光闌角控制鏡)

 

ACL(光闌角控制鏡)位于物鏡的上方,自動優(yōu)化整個(gè)電流范圍內(nèi)的物鏡光闌角。 因此,即使改變探針電流量,也能調(diào)整入射電子的擴(kuò)散,始終可以獲取小的電子束斑。不管是高分辨觀察還是X 射線分析,對探針電流的大幅度變化都能輕松對應(yīng)。

 

 

 

 

◇ 超級混合式物鏡 / SHL

 

JSM-7900F 標(biāo)配了JEOL 開發(fā)的電磁場疊加物鏡 —“超級混合式物鏡(SHL)”,對任何樣品包括磁性和絕緣材料都能進(jìn)行超高空間分辨率觀察和分析。

 

 

 

 

◇ 檢測器系統(tǒng)

 

能夠同步采集多達(dá)4 種檢測器的信號。

 

標(biāo)配低位檢測器(LED)和高位檢測器(UED)。 此外,還可以安裝選配件:可插拔式背散射電子檢測器(RBED)和高位二次電子檢測器(USD)。

 

 

 

 

檢測器.jpg

 

 

 

 

 

◇ 高空間分辨率觀察

 

利用GBSH,即使在極低的加速電壓下也能進(jìn)行高分辨率觀察。

 

 GBSH下,高空間分辨率觀察應(yīng)用

 

●  氧化物納米材料

 

gbsh應(yīng)用-1-1.jpg

 

 

 

     ● 金屬納米顆粒

 

金屬納米顆粒-1.jpg

 

 

 

 

 

◇ 低真空功能  ※選配件

 

利用低真空功能,即使是絕緣材料也不需要對樣品噴涂導(dǎo)電層,并且能很容易地進(jìn)行觀察及測試。JSM-7900F 在低真空下也擁有*的空間分辨率。

 

 

 

 

高倍率下的觀察應(yīng)用

 

 ● 玻璃

 

玻璃-1-1.jpg

 

 

 

 

 

玻璃-2.jpg

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

玻璃-3-1.jpg

 

 

EDS分析應(yīng)用

 

● 食品

 

食品.jpg

 

 

利用低真空功能,能容易地抑制絕緣材料產(chǎn)生的充放電效應(yīng)

 

 

 

 

JSM-7900F臺式掃描電鏡技術(shù)參數(shù):

 

分辨率

 

 

1.0 nm (0.5 kV)
0.7 nm (1 kV)
0.6 nm (15 kV)
3.0 nm (5 kV、WD: 10 mm、5 nA)

 

 

倍率

 

 

×10 ~ ×1,000,000

 

 

加速電壓

 

 

0.01 ~ 30 kV

 

 

探針電流

 

 

數(shù) pA ~ 500 nA

 

 

檢測器(標(biāo)配)

 

 

高位檢測器(UED)、低位檢測器(LED)

 

 

電子槍

 

 

浸沒式肖特基Plus場發(fā)射電子槍

 

 

光闌角控制鏡

 

 

內(nèi)置

 

 

物鏡

 

 

超級混合式物鏡/SHL

 

 

自動功能

 

 

自動聚焦、自動消像散、自動調(diào)節(jié)亮度、自動調(diào)節(jié)襯度

 

 

大景深模式(LDF)

 

 

內(nèi)置

 

 

樣品臺

 

 

全對中測角樣品臺

 

 

樣品移動

 

 

X:70mm  Y:50mm  Z:2 ~ 41mm   傾斜軸:-5 ~ 70° 旋轉(zhuǎn):360°

 

 

馬達(dá)驅(qū)動

 

 

5軸馬達(dá)驅(qū)動

 

 

樣品交換室

 

 

大直徑: 100mm    大高度: 40mm

 

 

抽真空

 

 

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